Zemax 激光扩束系统优化设计

激光扩束系统优化设计

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设置系统入瞳

入瞳5 mm，无焦像空间，净口径余量1 mm。

设置视场

扩束镜只有沿轴方向的一个视场，所以用默认轴上视场无需改动。

设置波长

选用HeNe激光器的波长0.6328 $\mu m$

设置镜头数据

查看初始结构波前差

分析→波前图→波前图

设置→显示为→伪彩色

设置优化变量

设置评价函数

限制镜头总长和边缘光线与光轴的距离。

• TTHI：面一到面二的总厚度，包括该两个面的厚度。
• OPLT：操作数小于指定的值
• REAY：指定光线追迹到指定面处的Y坐标（Hx、Hy代表归一化视场坐标，视场角度。Px、Py代表归一化光瞳坐标，光瞳位置）

将REAY的目标值设定为入瞳五倍的一半，即12.5，然后优化。

查看结果是否满足需求

将镜片2前表面设定为无限并取消变量设定，再次优化，查看PTV值为0.08个波长，符合要求。

查看面数据

分析→报告→表面数据报告

设置→表面→2 镜片1

查询镜头库找到现成透镜产品进行替换

输入得到的面数据，给定范围进行查找。

插入透镜重新优化

将厚度复制到插入透镜的后表面，删除镜片1，重新优化。

同样的道理更换第二只镜片，删除镜片2，重新优化。

发现PTV的值很大，将镜片2进行翻转，并在MFE中将OPLT设置到255，重新优化。

满足要求，设计结束。